當設備存在故障或操作不正確時，該設備的設計考慮了安全地停機。在假設存在大的故障前，應先檢查以下各點：
| 故障 | 產生原因 | 排除方法 |
| 真空度下降 | a）有空氣導入 b）真空泵排氣口關閉 c）真空泵故障 d）真空管路漏氣 e）真空泵油不足 f）真空泵油有水污染 g）抽出氣體中含水蒸汽過多 h）真空表指示不正確 | a）檢查空氣導入球閥是否正確地關閉 b）檢查 c）見真空泵說明書 d）數檢修管路 e）補充真空泵油至油標線上 f）更換新油 g）屬于正常現象 h）使真空泵運轉并檢查真空表的讀 校準或更換 |
| 由于真空分離器中過度起泡，使油從真空泵的排氣口中排出 | a）待處理油中溶解的氣體和空氣過高 b）油溫過低而起泡 c）由于油泵故障或堵塞真空分離器中未排出油 d）真空分離器中油位過高 | a）使設備在半真空下運行，直至氣體含量減少為止 b）使油液在部分內循環工況下運行以提高油溫 c）視需要進行清洗或修理 d）降低真空分離器中油位 |
| 油溫過低 | a）溫控儀設定不正確 b）加熱器元件故障 c）電源故障 d）進油溫度極低 e）溫探頭落出 f）加熱接觸器故障 g）電路斷路 | a）檢查并調節溫控儀 b）檢查加熱器并根據需要換新元件 c）檢查所有接線電源電壓及熔斷器 d）按運行說明所述，將設備以部分油液內循環工況運行 e）定感溫探頭 f）檢修或更換 g）檢修 |
| 油溫過高 | a）溫控儀設定不正確 b）電源電壓過高 c）接觸器觸頭粘連，不能斷開 | a檢查并調整溫控儀 b檢查電源電壓 c）修理或更換接觸器 |
| 輸油量低 | a）進油濾網被堵 b）循環球閥置部分循環位 c）進油軟管受阻 d）濾油機進油管提得過高 e）真空分離器內油位過低 f）真空度過高 g）油箱或油罐位置較高 h）油泵油封漏氣 | a）清洗濾網 b）檢查循環球閥的位置 c）吹通或更換 d）不要使設備在4.5m以上的負進油壓力下運行 e）增大進油量 f）降低真空度 g）降低高度 h）換油封 |
| 真空泵進油 | a）真空分離器內油位高，油液吸入冷卻器后被抽到真空泵內 b）真空度過高，使進油量大于出油量 | a）適當控制進油量，使其油位在液位計中間位置 b）降低真空度 真空泵中油應放掉，清洗真空泵，更換真空泵油，重新工作時，控制油量，使進出油量達到平衡 |
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